フッ素樹脂（パーフロ）シール材（DUPRA） oリング｜ダイキンファインテック株式会社

フッ素樹脂（パーフロ）シール材（DUPRA）

Daikin Ultra Pure Rubber Arts

DUPRAは、ダイキングループのダイキンファインテックが提供するパーフロエラストマー（FFKM）です。

パーフロエラストマーは、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）と同様に、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、耐候性等の多くの優れた性能を有します。

パーフロエラストマーのポリマー骨格は、炭素とフッ素（C-F）から構成されており、一般的な有機化合物の骨格である炭素と水素（C-H）の結合エネルギーよりも高く、安定しているため、外部からのあらゆるエネルギーに対して高い耐性を示します。

※エラストマーとは、構成するポリマー同士を架橋させる事で、弱い力で変形し力を除いた後、急速にほぼ元の形状寸法に戻る性質を持つ高分子材料を示します。

品番	特徴
DU353	熱プロセスにおける標準品番。 FFKM の中でも、優れた耐熱性・耐ガス性を発揮する。
DU551	超耐熱品番。DU353の性能を維持した上で、耐熱性が向上。 FFKM の中で、トップクラスの耐熱性能を発揮する。
DU553	超耐熱品番。DU551 の性能を維持した上で高強度にした品番。 FFKM の中でトップクラスの耐熱性能を発揮し、動的用途に好適。
DU3R1	プラズマプロセスの標準品番。酸素、フッ素プラズマに対する重量変化、発塵が少ない。
DU341	フッ素系ラジカル耐性が高く、プラズマプロセスにおいて、最高のパフォーマンスを発揮する。

プロセス		シール材周辺環境		推奨品番
プロセス		温度	ガス種	推奨品番
熱プロセス	LPCVD Oxidation Diffusion Lamp Anneal ALD	25～ 300℃	O2, H2O, H2O2, O3,NH3, SiH4, N2, HCI,NF3, CIF3, F2, HF, etc	DU551 DU553 DU353
プラズマプロセス	HDPCVD PECVD MetalCVD Etching Ashing	25～ 250℃	CF4, O2, HBr, Cl2,NH3, SiH4, H2O, Vaper, TEOS, NF3,CIF3, F2, HF, etc	DU341 DU3R1 DU551 DU553
洗浄プロセス	Cleaning Etching Stripping	25～ 180℃	SC-1, SC-2, O3, HF,H2SO4, H2OVaper,IPA, H2O2, NH3,Hydroxilamine etc	DU551