機能樹脂

ダイキンファインテックのPCTFEコーティング（ULSHEED）イメージ

PCTFEコーティング（ULSHEED）

ULSHEEDとは

メタル材料を使用しない、高耐薬・低発塵オリジナルフッ素樹脂コーティングです。
あらゆる面で、一般的なフッ素樹脂耐食コーティング(PFA等)を上回る性能を発揮し、様々なシーンでご使用いただいています。

特長

  1. メタルフリー
    コーティング表面からの金属溶出が極めて少なく、クリーンな状態を維持します。
  2. 優れた耐食性
    透過性/バリア性に非常に優れたPCTFEのコーティングで大切な基材を守ります。
  3. 低発塵性
    硬度が高く摩耗に強いため、塗膜からの発塵を低減しパーティクルとなる要因を防ぎます。
  4. 各種サービス対応
    塗膜のリコートサービス、軽微な基材補修作業などご対応いたします。

金属溶出テスト結果

単位：ppb

元素 浸漬日数
Blank 1日目 3日目 8日目
Li
 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Na ＜0.01 ＜0.01 0.01 ＜0.01
Mg ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Al ＜0.01 0.01 0.01 ＜0.01
K ＜0.01 0.01 0.01 ＜0.01
Ca ＜0.01 0.01 0.01 ＜0.01
Ti ＜0.01 0.01 0.01 0.01
Cr 0.01 0.01 0.01 0.01
Mn ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Fe ＜0.01 0.01 0.01 ＜0.01
Ni ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Cu ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Zn ＜0.01 0.01 0.01 0.01
Ag ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Cd ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Pb ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
元素 浸漬日数
Blank 1日目 3日目 8日目
Au
 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Ba ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Be ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Bi ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Co ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Ga ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Ge ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Mo ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Nb ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Sb ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Sn ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Sr ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Ta ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Tl ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
V ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
Zr ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01 ＜0.01
浸漬条件
50%フッ酸、R.T.
サンプル（検体）
SUS304＋ULSHEED
分析方法
ICP質量分析法
元素数
32

He透過係数比較(対PFA)

He透過係数比較(対PFA)のグラフ
試験検体
ULSHEED、PFAコーティング膜（表層）
試験装置
四重極型質量分析計（Qmass）
     Qulee with YTP（ULVA製）
測定方法
差圧法（JIS K 7126-1基準）
試験温度
25～300[℃]
試験ガス
一般工業用He
    高純度Air
パージガス
一般工業用N2

各種サービス体制

  • 塗膜のリコートサービス
  • PFAなど他コーティングからの置き換え(塗膜を剥がし、ULSHEEDへリコート)

用途例

  • 半導体ウェット装置部材他
  • 耐食部材などへのコーティング