機能樹脂

特長

低金属溶出

金属材料を使用しておらず歩留まりに貢献

※ 検体を塩酸3wt%浸漬、24h、144h経過時にICP-MSにて浸漬液を測定した結果。

優れた耐食性

従来のコーティング比10倍以上の使用実績

• 耐透過性に優れたPCTFEを材料に使用したクリーンで耐久性の高いコーティングです。
• 従来のフッ素コーティングに対し上記の点で優れており、再コーティングも可能です。
• ウエハ周辺部材等に施工頂き、製品品質・歩留まり向上、ランニングコスト低減にご活用下さい。

金属溶出テスト結果

ULSHEEDからの金属溶出は非常に少ない

薬液透過性試験

ULSHEEDは他のコーティングと比べ薬液透過性が低い為、耐薬品耐久性が高い。

・PFAフィルムとULSHEED（PCTFE）コーティング膜との比較

コーティング膜 イオン透過比較試験

二つのセルの間にULSHEED又はPFA膜を配置し、片側に薬液（塩酸水溶液）を入れ、もう一方のセルには超純水を入れる。
時間経過とともに薬液の塩化物イオンが超純水側に移動する。
この濃度をイオン交換クロマトグラフィーで測定。

PCTFEは2,780時間経過しても塩化物イオンは検出しない。

PFAは236時間で検出、2,780時間で1,000mg/Lの塩化物イオンを検出。

塗装スペック

リンクの表の範囲でコーティングが可能です。範囲外のご要望がございましたらお問合せ下さい。

塗装工程

ULSHEEDの塗装工程はリンク先の通りとなります。（専用クリーンルーム内で塗装）

実績例

大手装置メーカー様でご採用、耐久10倍以上の実績

対象製品：φ300㎜バッチ装置ウエハ輸送用石英部品

条件

フッ酸49%、R.T.

プロセス

ダミーウエハの再生

PFA coating ⇒ ３ヶ月で剥離

ULSHEED ⇒ ４年経過、不具合なし

※上記数値は代表値であり、保証値ではありません。

基材材質

石英

膜厚

140μm以上